Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

Артикул: 9582
Осталась 1 штука
304 Р

Описание

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.

Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Характеристики

Автор(ы)Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д., Шевяков В.И.
ИздательствоБИНОМ. Лаборатория знаний
Вид изданияУчебное пособие
Год издания2011
ISBN978-5-94774-904-5
Кол-во страниц277
Формат страниц60x90/16 (145x215 мм)
ЯзыкРусский
ПереплётТвердый
Тираж1000 экз.
Вес395 г

Отзывы посетителей(0)

Наверх